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IGBT 模块陶瓷衬板金属化技术与IGBT车规级芯片清洗介绍

IGBT 封装用基板在模块中除发挥机械固定元器件的作用外，还需要具有一定的载流能力。单纯的陶瓷材料并不导电，需要将陶瓷金属化后，在金属层刻制···

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半导体制造设备系列(10)-热处理设备

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